臺(tái)式勻膠機(jī)/旋涂機(jī) 型號(hào):TX50-12Ac

默認(rèn)10和30號(hào)吸盤(pán),也可選擇
技術(shù)參數(shù)
工作電源：AC200-230V，單相，200W；
裝片直徑：5/10/20/30....100mm，選擇兩只；
程序組：1-5 段（編輯頁(yè)面），12 組；
勻膠時(shí)間：3000S,分辨率 0.1S；
速度范圍：100-7000RPM；
速度修正：通過(guò) A/K 選擇 Kx 試運(yùn)行可自動(dòng)修正轉(zhuǎn)速，再回到 Kx 使用
加速度：不可修改
外形尺寸：12Ac=250mm(W)x300mm(D)x180mm(H)不含鍋的高度，電機(jī)軸高度 40mm；
重量 ：勻膠機(jī) 11KG，選配件真空泵 5KG；
真空輸入要求：0.06-0.09MPa，真空流量 15 升/Min 以上；
真空接口：自帶 6mm 管 1 米；

臺(tái)式勻膠機(jī)/旋涂機(jī) 型號(hào):TX50-12Ac

操作步驟
勻膠機(jī)控制屏，關(guān)于旋涂工藝相關(guān)的，請(qǐng)參考相關(guān)型號(hào)的使用說(shuō)明(型號(hào)插頁(yè))
1、 接通外部真空管路系統(tǒng)，打開(kāi)真空泵；
2、 勻膠機(jī)：按下較大的頂部的紅色電源按鈕，屏幕顯示初始畫(huà)面，此時(shí)請(qǐng)按下（程序組）按鈕，選擇程序 A1-A12 ，畫(huà)面回到運(yùn)行頁(yè)面，
3、 放基片（硅片、玻璃片等）于吸盤(pán)中心處，打開(kāi)蘑菇頭紅色真空開(kāi)關(guān)，檢查基片是否吸牢，（嚴(yán)禁對(duì)小于吸盤(pán)抽氣槽外圓的基片涂膠）。將適量光刻膠滴于基片中心處，按下蘑菇頭綠色勻膠開(kāi)關(guān)，。。。。。。(有異常情況，可按一下綠色的勻膠啟動(dòng)按鈕，吸盤(pán)將停止)等待電機(jī)停止轉(zhuǎn)動(dòng)后，關(guān)閉真空、取片。
4、 根據(jù)光刻膠的粘度和工作環(huán)境溫度選擇適當(dāng)轉(zhuǎn)速，一般勻膠時(shí)間大約 5~20 秒之間。
5、 將勻過(guò)膠的玻璃片立放在玻璃卡盤(pán)上放入金屬盒中，根據(jù)膠的要求放入溫箱進(jìn)行前烘，一般的光刻膠前烘溫度 90℃30 分鐘。
6、 勻膠機(jī)須關(guān)閉上蓋后啟動(dòng)、勻膠機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)嚴(yán)禁用手觸摸。用手去抓勻膠機(jī)吸盤(pán)，能導(dǎo)致本機(jī)保護(hù)，需返廠(chǎng)處理，請(qǐng)知悉。